2013年11月23日星期六

中科院RFG射频电源打火实验--中科院射频电源组荣誉出品

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(2MHz,4MHz,13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部
产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。

2013年11月22日星期五

中科院射频电源组产品宣传视频---中科院射频电源组荣誉出品

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(2MHz,4MHz,13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

2013年11月9日星期六

中科院微电子所宣传片–中科院射频电源组荣誉出品


中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部
产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。

2013年8月6日星期二

中科院高性价比KW系列匀胶机(甩胶机)


匀胶机(甩胶机)

        中科院KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。
产品主要特点:
  1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
  2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。  
  3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。
  4、具有定时功能。
  5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。
  6、”吸片”采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。  
  7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。
性能指标: 
  KW-4A型匀胶机
   



  1、调速范围和匀胶时间  
     Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分   Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒  
     Ⅱ档 调速范围:1300-8000转/分  Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒 
  2、适用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。
  3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%。 
  4、电机功率:40W  
  5、真空泵抽气速率≥60升/分 
  6、体积小,重量轻,操作简便 
  仪器尺寸:210×220×160mm     
  KW-5型匀胶机
  

  1、调速范围和匀胶时间  
     Ⅰ档 调速范围:500-1000转/分   Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒  
     Ⅱ档 调速范围:1000-5000转/分  Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒
  2、适用:Φ100-Φ200mm(4”~8”)硅片及其它材料等匀胶。 
  3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±5%。 
  4、电机功率:180W   
  5、真空泵抽气速率60升/分   
  6、设备尺寸:500×500×460mm
网址:请点击此处

2013年8月5日星期一

热烈庆祝中科院半导体设备与工艺论坛上线试运行

为了方便高校研究所的研发人员与学生相互进行技术交流与学术探讨,经中科院射频电源组研究决定,射频电源组官方网站(www.rf-power.net)下将挂靠“半导体设备与工艺论坛(www.setbbs.com)”,论坛(www.setbbs.com)将由中科院微电子研究所半导体设备技术研究室(八室)下的各个课题组负责人负责运营维护,即日起上线试运行为期一个月。试运行期间欢迎对论坛进行批评指正。论坛入口

2013年7月6日星期六

中科院射频电源组官方网站(www.rf-power.net)新增官方微博功能

为了更好地为客户与各大高校科研工作者提供及时方便的交流互助平台,中国科学院射频电源组官方网站(www.rf-power.net)特新增官方微博功能。使用方法:进入中科院射频电源官方网站www.rf-power.net后,点击左下角官方微博按钮添加。

2013年6月28日星期五

中科院RFG系列固态射频电源荣获“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛发明创新奖

5月20日,“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛颁奖仪式在北京中国农业展览馆举行,微电子所受邀参加的两项成果“固态射频电源系统” 和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”分获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”和“铜奖”。
  此次大赛的颁奖仪式是在5月19日开幕的全国科技活动周暨北京科技周举办期间进行的。大赛以“弘扬北京精神科技改变生活”为主题,面向国内外征 集科技发明项目。通过历时五个多月的参赛报名、网上公示和专家评审,经初赛、复赛和决赛三个阶段,大赛组委会最终在参赛的1272个项目中评选出特等奖1 项,金奖29项,银奖70项,铜奖100项,微电子所“固态射频电源系统” 和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”两项成果分获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”和“铜奖”。
  北京发明创新大赛是在市科委支持、中国发明协会指导下,由北京发明协会于2006年创办的公益性科技活动,现已列入《北京市“十二五”科学技术普及发展规划纲要》。未来,微电子所将继续组织优秀的成果参加北京发明创新大赛等创新大赛,助力首都科技的发展。

金奖奖牌

金奖证书

  铜奖证书
中科院射频电源网址:www.rf-power.net

2013年4月30日星期二

中科院推出RFG-2000型高性能2000W射频电源

为满足半导体设备客户的需求,中科院射频电源组(www.rf-power.net)经过2个月的设计研发,于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列),此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议,模拟口通讯,脉冲调制,相位同步与移相等功能。
固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)
中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
  从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。
  经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW 等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
  年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
  目前射频电源组,实行组长负责制,下设三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。
  产品研发部:实行部长负责制,有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
  产品生产部:实行部长负责制,有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。
  产品推广与售后服务部:实行部长负责制,有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。
  射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子体消毒清洗等领域。
  中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net

2013年3月18日星期一

2013年2月23日星期六

RFG-300型射频电源


RFG-300型射频电源

RFG300

RFG-300型射频电源

电气参数
电气参数
指标
输出功率
1W-300W连续可调,正反向功率真彩色LCD智能显示
射频末级效率
86%(300W输出时),≥93%100W输出时)
功率稳定度
≤ ±0.5(额定功率输出时)
频率稳定度
±10ppm
承受最大反射功率
100W20-30s
最大输出功率裕度
20%
谐波输出
二次谐波低于 -50dB,三次及更高次谐波低于 -55dB
频率信号
13.56MHz标准正弦波
整机效率
70%



控制信号与后面板电气连接
描述
说明
模拟口
15D型(阴性)(选配)
串口
RS232/RS485/USB通讯协议(选配)
外部时钟同步(CEX
BNC(阴性)
射频输出口
标准同轴接头输出(M/N型,阴性)
交流供电口
AC220V供电(50Hz
冷却方式
强制风冷
机械尺寸
描述
说明
体积
140(H)X270mm(W)X400mm(D) 可定制紧凑型
重量
10kg
安装
两侧固定孔
前面板指示
4.3寸TFT真彩数字屏(16:9),分辩率480X272,LED背光,纯铝旋钮
前面板颜色
象牙白(可根据客户需求进行定制)
使用环境
描述
说明
环境温度
0 -40
相对湿度
< 85%
详细资料下载

2013年2月17日星期日

半导体平面工艺:光刻


什么是光刻
光刻是一项图形转换和化学腐蚀相结合的综合性技术。具体来讲,是以光刻胶为掩膜,进行初步的图形转换,使用氢氟酸或浓磷酸为腐蚀剂进行腐蚀,完成图形转换。
光刻的基本流程:
1.清洗
2.匀胶
3.前烘
4.曝光
5.显影
6.坚膜
7.腐蚀
8.去胶
20130116130357
稿件来源于:中科院射频电源组

2013年2月16日星期六

射频激励CO2激光器系统

射频激励CO2激光器系统原理:Laser.svg
          激光(英语:Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation,缩写为LASER,或laser),是指通过受激辐射而产生,放大的光
        特点:单色性极好,发散度极小,亮度(功率)可以达到很高
        产生激光需要“激发来源”,“增益介质”,“共振结构”这三个要素。
       “激发来源”(pumping source):把能量供给低能级的电子,激发使其成为高能级电子,能量供给的方式有电苛放电、光子、化学作用…。
      “增益介质”(gain medium):被激发、释放光子的电子所在的物质,其物理特性会影响所产生激光的波长等特性。
      “共振腔”(optical cavity/optical resonator):是两面互相平行的镜子,一面全反射,一面半反射。作用是把光线在反射镜间来回反射,目的是使被激发的光经过增益介质多次以得到足够的放大,当放大到可以穿透半反射镜时,激光便从半反射镜发射出去。因此,此半反镜也被称为输出耦合镜(output coupler)。两镜面之间的距离也对输出的激光波长有着选择作用,只有在在两镜间的距离能产生共振的波长才能产生激光。
     主要部件 1.活跃激光介质 2.RF能量 3.高反射率反射镜 4.输出功率耦合器 5.激光光束
射频激励CO2激光器系统用途:240px-Dye_laser_SF-07
  • 医学: 无血手术, 激光治疗, 手术治疗, 肾结石治疗, 激光矫视, 牙科
  • 工业: 切割, 焊接, 材料热处理, 打标记, 非接触性测量
  • 军事: 目标标记,弹药制导, 导弹防御,激光武器
  • 司法: 指纹探测,
  • 科研: 光谱学
  • 生产/商业应用:激光打印机, 光盘, 条码扫描仪,激光指示器
  • 激光灯光显示: 激光灯光秀
  • 美容手术皮肤治疗: 激光美容
稿件来源于:中科院射频电源网

2013年2月9日星期六

祝新老客户2013新年快乐

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感谢各位客户,对我们射频电源组(www.rf-power.net)一如既往的支持,在以往的日子里,得到您的信任和支持,这是我们最宝贵的财富和您给予我们最珍贵的礼物。在新的一年即将到来之际,我们射频电源组(www.rf-power.net)向您表示最诚挚的谢意和最热情的问候!
我们期待着与您有更多地合作、更多地交流,更好地为您服务!
祝:您及您全家在新的一年里身体健康!心想事成!万事如意!
                                                                                                                                             中科院射频电源组
                                                                                                                                            2013年2月9日
稿件来源于中科院射频电源组官网www.rf-power.net

2013年2月8日星期五

中科院RFG-1500型射频电源


电气参数
电气参数
指标
输出功率
1W-1500W连续可调,正反向功率真彩色LCD智能显示
射频末级效率
86%(1500W输出时),≥93%800W输出时)
功率稳定度
≤ ±0.5(额定功率输出时)
频率稳定度
±10ppm
承受最大反射功率
300W20-30s
最大输出功率裕度
20%
谐波输出
二次谐波低于 -50dB,三次及更高次谐波低于 -55dB
频率信号
13.56MHz标准正弦波
整机效率
70%
控制信号与后面板电气连接
描述
说明
模拟口
15D型(阴性)(选配)
串口
RS232/RS485/USB通讯协议(选配)
外部时钟同步(CEX
BNC(阴性)
射频输出口
标准同轴接头输出(M/N型,阴性)
交流供电口
AC220V供电(50Hz
冷却方式
强制风冷
机械尺寸
描述
说明
体积
132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5(H)17.3(W)19.7(D)
重量
19.9kg
安装
前面板高为标准3U,宽为19英寸
前面板指示
4.3TFT彩数字屏(169),分辩率480X272LED背光28键键盘,纯铝旋钮
前面板颜色
象牙白(可根据客户需求进行定制)
使用环境
描述
说明
环境温度
0 -40
相对湿度
< 85%

中科院RFG-1000型射频电源


电气参数
电气参数
指标
输出功率
1W-1000W连续可调,正反向功率真彩色LCD智能显示
射频末级效率
86%(1000W输出时),≥93%700W输出时)
功率稳定度
≤ ±0.5(额定功率输出时)
频率稳定度
±10ppm
承受最大反射功率
200W20-30s
最大输出功率裕度
20%
谐波输出
二次谐波低于 -50dB,三次及更高次谐波低于 -55dB
频率信号
13.56MHz标准正弦波
整机效率
70%
控制信号与后面板电气连接
描述
说明
模拟口
15D型(阴性)(选配)
串口
RS232/RS485/USB通讯协议(选配)
外部时钟同步(CEX
BNC(阴性)
射频输出口
标准同轴接头输出(M/N型,阴性)
交流供电口
AC220V供电(50Hz
冷却方式
强制风冷
机械尺寸
描述
说明
体积
132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5(H)17.3(W)19.7(D)
重量
18.7kg
安装
前面板高为标准3U,宽为19英寸
前面板指示
4.3TFT彩数字屏(169),分辩率480X272LED背光28键键盘,纯铝旋钮
前面板颜色
象牙白(可根据客户需求进行定制)
使用环境
描述
说明
环境温度
0 -40
相对湿度
< 85%
详细资料下载