RFW-500型射频电源(完全替代电子管射频电源)

RFW-500型固态射频电源

电气参数

电气参数	指标
输出功率	1W-500W连续可调，LED显示
射频末级效率	≥86％（500W输出时），≥93%（300W输出时）
功率稳定度	≤ ±0.5％(额定功率输出时)
频率稳定度	±10ppm
承受最大反射功率	100W（20-30s）
最大输出功率裕度	20%
谐波输出		二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB
频率信号		13.56MHz标准正弦波
整机效率		≥70%

控制信号与后面板电气连接

描述	说明
模拟口	15针D型（阴性）（选配）
串口	RS232/RS485/USB通讯协议（选配）
外部时钟同步（CEX）	BNC(阴性)
射频输出口	标准同轴接头输出（M/N型，阴性）
交流供电口	AC220V供电（50Hz）
冷却方式	强制风冷

机械尺寸

描述	说明
体积	132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5＂(H)17.3＂(W)19.7＂(D)
重量	18kg
安装	前面板高为标准3U，宽为19英寸
前面板指示	LED数码管显示
前面板颜色	象牙白（可根据客户需求进行定制）

使用环境

描述	说明
环境温度	0 -40℃
相对湿度	< 85%

KW系列匀胶机(甩胶机)

英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

KW系列匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。

目前型号有KW-4A型，KW-5型与新型号KW-4B型。基于中科院微电子所技术升级改造，提供正规普票或增值税票。

产品主要特点：

1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。

3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。

4、具有定时功能。

5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。

6、”吸片”采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。

7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。

性能指标：

　KW-4A型匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档　调速范围：500-2000转／分　　 Ⅰ档　匀胶时间：2-18秒

Ⅱ档　调速范围：1300-8000转／分　　Ⅱ档　匀胶时间：3-60秒

2、适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。

3、LED数字显示，转速稳定度：±1％，胶的均匀性：±3％。

4、电机功率：40W，单相220V供电

5、真空泵抽气速率≥60升／分

6、体积小，重量轻，操作简便

仪器尺寸：210×220×160mm

最新型KW-4B型(KW-4A型升级版)匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档　调速范围：50-9000转／分　　 Ⅰ档　匀胶时间：1-999秒

Ⅱ档　调速范围：50-9000转／分　　Ⅱ档　匀胶时间：1-999秒

2、适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。

3、双LED数字显示，带倒计时显示功能，采用闭环调节方式，转速稳定度：±0.5％，胶的均匀性：±1％。

4、单按键控制电机启动，暂停，复位，单片机延时控制电磁阀启动与停止。

5、电机功率：40W，单相220V供电

6、真空泵抽气速率≥60升／分

7、机身采用不锈钢材质，体积小，重量轻，操作简便

仪器尺寸：210×220×160mm     

　KW-5型匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档　调速范围：500-1000转／分　　 Ⅰ档　匀胶时间：2-18秒

Ⅱ档　调速范围：1000-5000转／分　　Ⅱ档　匀胶时间：3-60秒

2、适用：Φ100-Φ200mm（4”～8”）硅片及其它材料等匀胶。

3、LED数字显示，转速稳定度：±1％，胶的均匀性：±5％。

4、电机功率：180W，三相380V供电

5、真空泵抽气速率60升／分

6、设备尺寸：500×500×460mm

李克强在两院院士大会上作报告：创新宏观调控 实施创新驱动

6月10日，中共中央政治局常委、国务院总理李克强在中国科学院第十七次院士大会和中国工程院第十二次院士大会上作经济形势报告。他首先向长期以来为国家改革开放、现代化建设和科技事业发展作出突出贡献的两院院士和广大科技工作者，致以崇高敬意。

　　李克强深刻分析了当前经济形势。他说，今年以来，国内外环境错综复杂，各种困难和问题交织，全国上下共同努力，全面贯彻党中央国务院决策部署，经济运行总体平稳、主要指标处在合理区间，结构调整发生积极变化，市场预期等一些方面出现稳中向好。但也要看到，经济下行压力仍然较大，各地发展不平衡，制约发展的不利因素依然较多。对此，我们要清醒认识和准确把握，既要坚定信心、保持定力，继续坚持宏观调控政策的基本取向，又不能掉以轻心，要直面问题、善谋善为，不断创新宏观调控思路和方式，丰富政策工具，优化政策组合，在坚持区间调控中更加注重定向调控，瞄准运行中的突出问题确定调控“靶点”，在精准、及时、适度上下功夫，做好预调微调，未雨绸缪、远近结合、防范风险，保持经济运行在合理区间。坚持向改革要动力、向结构调整要动力、向惠民生要动力，发挥政策叠加效应，确保实现全年经济社会发展目标任务。

　　李克强指出，正确认识形势必须立足基本国情。我国仍是最大发展中国家，仍将长期处于社会主义初级阶段，发展始终是第一要务，是推进党和国家各项事业的重要基础。在十三亿人口的大国实现现代化，人类历史上没有先例，需要付出长期艰苦的努力。尽管面临国际竞争加剧、资源环境约束突出等诸多挑战，但广大人民群众的勤劳智慧和对美好生活的向往、成长中的庞大内需市场、“新四化”进程的不断推进，也为中国经济发展提供了巨大潜力和回旋空间。我们完全有条件、有能力在过去三十多年快速增长的基础上，跨越中等收入陷阱，继续保持较长时期的中高速增长。

　　李克强强调，保持经济中高速增长，必须推动发展向中高端水平迈进，实现经济提质增效升级，关键要靠创新驱动，突出的是要使科技创新和体制创新相互融合、相互激发。要合理确定科技创新战略布局。瞄准国际技术前沿，在基础研究和应用研究领域两头发力，积极作为，努力取得原创性突破，掌握关键和核心技术。大力促进科技成果转化为现实生产力，推动我国产业跃上全球竞争新的制高点，催生和壮大新兴业态，拓展新的市场需求，用无限的创意使有限的资源转变为更加丰富的创新成果，造福亿万人民。要以体制创新提高科技创新的效率，冲破形形色色体制机制障碍的羁绊，由市场决定创新资源配置。继续加大财政支持力度，引导更多企业和社会资本增加研发投入，尤其要注重盘活存量，提高资金使用效率。要把股权激励、科技成果处置权收益权改革等鼓励创新的政策和机制推广到更大范围，开花结果，通过开放合作汇集更多创新资源、凝聚更多创造力量。

　　李克强指出，创新驱动根本要靠人才。要进一步破除阻碍人才成长和施展才华的各种障碍，弘扬探索未知、追求真理的科学精神，营造宽容失败、鼓励创新的良好氛围，充分激发人才特别是青年人才的创新活力。两院院士是国家的宝贵财富、科技创新的杰出代表，要发挥好引领作用，培育和带动更多青年人才投身建设创新型国家的伟大事业，使创新创造成为中国发展故事新乐章的强音。

　　李克强最后说，让我们紧密团结在以习近平同志为总书记的党中央周围，坚持改革创新，锐意开拓进取，为推动经济社会持续健康发展、建设富强民主文明和谐的社会主义现代化国家、实现中华民族伟大复兴的中国梦而努力奋斗！

　　会前，李克强会见了金怡濂、王小谟、王永志、吴孟超、吴良镛、郑哲敏等曾获国家最高科技奖的院士代表。

　　刘延东、杨晶、陈竺、韩启德、万钢和路甬祥、桑国卫、宋健、徐匡迪、王志珍，及两院院士等共1100多人参加报告会。

    6月10日，中共中央政治局常委、国务院总理李克强在中国科学院第十七次院士大会和中国工程院第十二次院士大会上作经济形势报告。中新社 刘震 摄

    6月10日，中共中央政治局常委、国务院总理李克强在中国科学院第十七次院士大会和中国工程院第十二次院士大会上作经济形势报告。

中科院射频电源组：www.rf-power.net

中科院射频电源组将于近期推出新型高速高精度自动匹配

中科院射频电源组将于近期推出最新型高速(匹配速度可达2-3S)，高精度(定位精度千分之1)， 带RS485(兼容MODBUS RTU,ASCII)通信，智能化自动匹配器,尽请期待。
更多资讯，尽情关注中科院射频电源组官方网站：www.rf-power.net

中科院RFG射频电源打火实验--中科院射频电源组荣誉出品

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(2MHz,4MHz,13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。

产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。

产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间（可以进行ESD，EMC等测试），年生产能力达3000台套。

产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。

目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。

产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。

中科院射频电源组产品宣传视频---中科院射频电源组荣誉出品

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(2MHz,4MHz,13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

中科院微电子所宣传片–中科院射频电源组荣誉出品

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。

产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。

产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间（可以进行ESD，EMC等测试），年生产能力达3000台套。

产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。

目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。

产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。